所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。 在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。 小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。经验表明，对于高效过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。